Dispositivos de câmara e componentes isolantes para um fabricante de equipamentos de semicondutores — planeza apertada, acabamento espelhado por eletroerosão, verificação em CMM Zeiss. Passo a passo de projeto anonimizado.
| Cliente | Fabricante de equipamentos de semicondutores (anonimizado) |
| Peças | Dispositivos de câmara de vácuo, espaçadores e suportes isolantes |
| Materiais | Inox 17-4PH, PEEK |
| Tolerâncias-chave | Planeza nas faces de vedação; classe ±0.003 mm nos elementos |
| Processos | Usinagem CNC, retífica de precisão, eletroerosão espelhada |
| Verificação | CMM Zeiss CONTURA, FAI por rodada, relatório por remessa |
Dentro de uma câmara de processo, os materiais brigam com você em direções opostas. As peças de fixação em 17-4PH precisam de resistência mecânica e à corrosão, com faces de vedação planas o bastante para que uma junta realmente vede depois de ciclos térmicos. Os isoladores de PEEK precisam manter a geometria sem o comportamento de expansão térmica do metal — e as duas famílias de material exigem estratégias diferentes de corte, fixação e acabamento. Por cima disso, qualquer rebarba ou marca de manuseio dentro de uma câmara se torna um problema de partículas.
Os dispositivos em inox passaram por desbaste, alívio de tensões e, então, usinagem de acabamento e retífica em retíficas de superfície, para trazer as faces de vedação à planeza sem travar tensões de usinagem. As peças de PEEK foram cortadas com ferramentas afiadas, de alta folga, e pressão de fixação controlada para evitar fluência ao redor dos elementos. Quebra de arestas e rebarbação foram especificadas e inspecionadas, não presumidas. O acabamento interno de um elemento sensível a correntes parasitas exigiu eletroerosão espelhada — a mesma capacidade interna de eletroerosão que empregamos no trabalho com moldes. Tudo foi verificado nas CMM Zeiss CONTURA, com relatórios de FAI por rodada.
O cliente consolidou as duas famílias de material com um único fornecedor capaz de segurar a planeza do metal e a geometria do plástico sob o mesmo sistema de qualidade — um padrão de inspeção, um formato de relatório, um fluxo logístico. Lotes de reposição rodam contra dados de FAI aprovados, de modo que novas liberações partem de um processo conhecido em vez de um exercício de descoberta do zero.
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